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自动聚焦装置
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铸铁
偏光显微镜BX53P
截点法晶粒度
奥林巴斯测量显微镜STM7
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面积法晶粒度
IC以及4”硅片检查显微镜BX53M
清洁度分析系统CIX100
清洁度分析系统
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OLS5100激光共焦显微镜
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